Sensores de fuerza basados en semiconductores
Resumen
Entre los transductores electromecánicos, un tipo de ellos es el llamado "Sensor de Deformación" (Strain Gauge). Consisten de un metal depositado sobre un sustrato elástico, cuya acción se basa en el principio de variación de resistencia por efecto de la deformación. En Microelectrónica, con Tecnología Planar se obtienen sensores con resistencias difundidas en sustrato de Silicio Monocristalino, esto permite conseguir características eléctricas, físicas y dimensiones muy adecuadas para la detección de parámetros fisiológicos. Con estos dispositivos se pueden medir desplazamientos pequeños, presión y deformación con excelentes características lineales.
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